特許

J-GLOBAL ID：200903075676392675

エキシマ放電ランプ

発明者： 平本 立躬 ,  森本 幸裕
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-210001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050151
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】 実質的に点状光源とみなすことができて集光効率が高く、高い放射輝度で真空紫外光を放射することができ、放射光束維持率が高くて寿命の長い真空紫外光用ランプを提供すること。【構成】 少なくとも一対の電極が配置された放電容器内に、Ar、KrおよびXeからなる群より選ばれた少なくとも一種が主エキシマ発光成分のガスとして封入され、封入ガス圧が25°Cで0.2×105 Pa以上であり、電極間の距離をL、電極間中央部のアーク軸に垂直な放電容器の内断面の有効径をDとするとき、(D/L)>0.5の関係式を満足し、放電容器の少なくとも光を取り出す部分が、アルカリ金属のフッ化物またはアルカリ土類金属のフッ化物(主エキシマ発光成分のガスがXeである場合には更にサファイアまたは特殊石英ガラス)から構成され、エキシマ光を放射させる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一対の電極が配置された放電容器内に、アルゴン、クリプトンおよびキセノンからなる群より選ばれた少なくとも一種が主エキシマ発光成分のガスとして封入され、封入ガス圧が25°Cで0.2×105 Pa以上であり、電極間の距離をL、電極間中央部のアーク軸に垂直な放電容器の内断面の有効径をDとするとき、(D/L)>0.5の関係式を満足し、放電容器の少なくとも光を取り出す部分が、アルカリ金属のフッ化物またはアルカリ土類金属のフッ化物から構成され、エキシマ光を放射させることを特徴とするエキシマ放電ランプ。

IPC (2件)：

H01J 61/16 ,  H01J 61/30