特許
J-GLOBAL ID：200903075687669032
パターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090244
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258441
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 アルカリ現像液またはアルカリ水溶液により現像可能なポリイミド系感光性樹脂組成物を開発し、優れた膜物性と安全で自然と人に優しい作業環境とを両立できるパターン形成方法を提供すること。【解決手段】 (A)化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、(B)光重合性官能基を有する感光助剤、(C)光重合開始剤、及び(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布して膜を形成し、次いで、該膜をパターン形状に露光した後、アルカリ現像液またはアルカリ水溶液を用いて現像することを特徴とするパターン形成方法。
請求項（抜粋）：
(A)式(1)で表される基Z1及び式(2)で表される基Z2からなる群より選ばれる少なくとも一種の化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、【化1】(式中、Xは、単結合、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-OCOO-、-COCH2O-、-S-、-SO-、-SO2-または-SO2O-であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1であり、nは、1〜3の整数である。)【化2】(式中、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1である。)(B)光重合性官能基を有する感光助剤、(C)光重合開始剤、及び(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布して膜を形成し、次いで、該膜をパターン形状に露光した後、アルカリ現像液またはアルカリ水溶液を用いて現像することを特徴とするパターン形成方法。
IPC (4件)：
G03F 7/027 514
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 504
, H01L 21/027
G03F 7/027 514
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 504
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 569 F
