異物検査方法及び装置、及び該検査方法を用いた露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103369
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291752
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】PXL露光装置でマスクとウエハーの間に入り込んで、マスクを破壊する異物を検出し、マスクの破壊を防ぐウエハー異物検査方法及び装置、及び該検査方法を用いた露光装置を提供すること。【解決手段】ウエハーの周辺部に対し、異物の高さを検出可能な異物検査装置をPXL露光装置に適用することを特徴とするウエハー異物検査方法及び装置、及び該検査方法を用いたPXL露光装置。

請求項（抜粋）：

ウェハーの周辺部に付着した異物の高さを検出し、所定の高さ以上の異物の有無を弁別することを特徴とする異物検査装置。

IPC (7件)：

H01L 21/66 , G01B 11/02 , G01B 11/30 , G01N 21/94 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (8件)：

H01L 21/66 J , G01B 11/02 H , G01B 11/30 A , G01N 21/94 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 509 , H01L 21/30 531 Z

Fターム (67件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065BB03 , 2F065BB16 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065EE04 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF49 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065HH08 , 2F065HH09 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065MM04 , 2F065NN17 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065RR05 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051BA11 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051DA08 , 2G051EA14 , 2H097BA04 , 2H097CA15 , 2H097GA45 , 2H097LA10 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106CA43 , 4M106DB04 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB14 , 4M106DB20 , 4M106DH01 , 4M106DJ06 , 4M106DJ17 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ27 , 5F046AA18 , 5F046DA16 , 5F046GA02 , 5F046GA20 , 5F046GC04

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