特許

J-GLOBAL ID：200903075695171817

感放射線性樹脂組成物

発明者： 猪俣 克巳 ,  大田 利幸 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244397
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089026
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【構成】 本発明の感放射線性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と特定のポリヒドロキシ化合物およびその誘導体の少なくとも何れかを配合したことを特徴とする。【効果】 本発明の組成物は、現像性および耐熱性に優れ、高解像度で、特に溶解性コントラストに優れたポジ型レジストとして好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

ポリスチレン換算重量平均分子量が2,000〜20,000であるアルカリ可溶性樹脂ならびに下記式(1)【化1】で表わされるポリヒドロキシ化合物およびその誘導体の少なくとも何れかを含有していることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027