特許
J-GLOBAL ID：200903075696788494
インプリント加工用金型およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三枝 英二
, 掛樋 悠路
, 小原 健志
, 斎藤 健治
, 藤井 淳
, 関 仁士
, 中野 睦子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150292
公開番号（公開出願番号）：特開2004-351693
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】高分子樹脂との剥離性が良好であり、離型剤が金型の凹部の溝部分に入り込んでおらず、プレス加工による正常なパターンの転写が繰り返し可能なインプリント加工用金型を、大気中で、有毒ガスを発生することなく、製造する。【解決手段】金型の材料と化学的に反応する官能基を有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなるインプリント加工用金型。インプリント加工用金型の表面を洗浄する第一の工程と、前記インプリント加工用金型を前記パーフルオロポリエーテルに暴露する第二の工程を含む、インプリント加工用金型の製造方法。さらに、インプリント加工用金型を加温加湿下に放置する第三の工程を含んでよい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
金型の材料と化学的に反応する官能基を複数部位に有するパーフルオロポリエーテルで被覆してなることを特徴とするインプリント加工用金型。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
4F202AG05
, 4F202AH33
, 4F202AJ02
, 4F202AJ03
, 4F202AJ09
, 4F202AJ11
, 4F202CA09
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD22
, 4F202CD30
, 4F202CM47
, 4F202CM54
