特許

J-GLOBAL ID：200903075699230982

微動駆動担体

発明者： 多川 昌宏 ,  宮▲崎▼ 俊彦 ,  黒田 亮 ,  川瀬 俊光
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274076
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128467
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 可動部の高さ方向の面ぶれを防止し、より精密かつ高速な駆動を達成する。【構成】 微動駆動坦体は、平面内において微動駆動する微動駆動機構を収容する固定容器5を備えている。固定容器5の内部において、微動駆動機構の可動部1は可動部1を挟持するように配設された一対の圧電素子2により1軸方向(X方向)に駆動可能となっている。圧電素子2は変位量を確実に可動部1に伝えるために、球3を介して可動部1に点接触している。さらに、可動部1の上下にはZ方向拘束部材として弾性体6が挿入され、弾性体6は固定容器5により可動部1に押しつけられている。可動部1には、固定容器5の上面より突出した4つの伝達部1aが形成されている。固定容器5の外側には、試料台4が伝達部1aに可動部1の駆動方向と平行になるように接着されている。

請求項（抜粋）：

平面内において微動駆動する微動駆動機構及び該微動駆動機構の平面内における駆動方向に対して垂直な高さ方向の変動を拘束する拘束部材を収容する固定容器と、前記固定容器の外側に前記微動駆動機構の駆動方向に対して平行に設置され、前記微動駆動機構の平面内における微動駆動に伴い移動する試料台と、を有する微動駆動担体。