特許

J-GLOBAL ID：200903075703927403

放射線検出装置の密封方法と当該方法によって製造した放射線検出装置

発明者： ヴュー,ジェラール ,  スパンレール,ヴァンサン
出願人/特許権者： トムソン テューブ エレクトロニク
代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-533858
公開番号（公開出願番号）：特表2001-509317
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】本発明は、アモルファスシリコン検出スラブ(10-pmn)とシンチレーション材料層(24・26)を有するソリッドステートエックス線検出装置の密封方法に関する。スラブは、スラブの周辺部に形成した導電性トラック(22)と外部導体(30)との間の非等方性導電フィルム(31)をフレキシングした接続領域(3)を有する。本発明によれば、フレキシング領域(31)とシンチレーティング層(24・26)は、少なくとも周辺部は、例えばスクリーンプリンティングされた、不透過性材料からなる連続した層(6)によって被覆されている。

請求項（抜粋）：

絶縁基板(10)の中央部に形成された複数の(RM)基本検出要素(pmn)とシンチレーション材料層(24)を有し、アモルファスシリコンで被覆されたガラスのスラブ;前記検出要素(pmn)は弾性多導体ケーブルが接続された周辺の接続領域(3)に接続されたマトリックス放射線検出装置の密封方法であって、前記周辺の接続領域(3)と少なくとも前記シンチレーション材料層(24)の周囲とを覆うように単一工程で大気中の湿分を透過しない材料を蒸着するステップを含むことを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/02 ,  H01L 31/09

FI (4件)：

H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/02 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-280654
  
• X線画像センサ、そのホルダおよびその位置決め具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068792   出願人：株式会社モリタ製作所