特許
J-GLOBAL ID：200903075705273770
パルス状原料導入セル
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-322364
公開番号（公開出願番号）：特開平7-172982
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 硫黄等の非常に蒸気圧の高い原料の蒸気供給量を精密に制御できるようにすること。【構成】 原料容器21の周りに加熱用ヒータ22を巻回し、先端部にノズル23をシール機構24を介して取付ける。ノズル23の内部には、軸方向の溝(通路)と下部に鍔状突部25bを有する封止部材25が嵌合され、該封止部材25は、ロッド26を介して下端の磁性体27と電磁石28及びスプリング29によって高速ピストン運動されるようになっている。【作用】 原料容器21内の蒸気圧の高い固体原料をヒータ22で加熱して蒸発された原料蒸気は、高速ピストン運動する封止部材25により開閉ノズル開口23aより、パルス状に真空室内へ供給される。
請求項（抜粋）：
真空蒸着等のために真空室内へ原料供給を行なう原料供給装置において、先端部に原料容器からの原料を供給するノズルを有し、該ノズルの開口を内側から封止開口を繰り返えすピストン運動を行なうロッド及び該ロッドを高速駆動する手段を設け、原料蒸気を上記ノズルから真空室内にパルス状に導入するようにしたことを特徴とするパルス状原料導入セル。
IPC (6件)：
C30B 23/08
, C23C 14/24
, C23C 16/44
, H01L 21/203
, H01L 21/205
, C30B 29/48
