特許
J-GLOBAL ID：200903075706767431
ガスレーザ発振方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248026
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097550
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】本発明は、陰極輝点による影響を最小限に抑えて高効率で高繰り返しで動作する。【構成】一方の主電極(1a)に接続されたコンデンサ(2a,2b) を放電させ、その反転電圧及び他方のコンデンサ(3a,3b) の充電電圧を予備電離電極(10a, ...11b)及び各主電極(1a,1b) 間に印加し、各主電極(1a,1b) 間を予備電離して主放電を発生し、パルスレーザ光を出力する。次に充電の後、他方の主電極(1b)に接続されたコンデンサ(3a,3b) を放電させ、そのコンデンサ(3a,3b) の電圧を反転し、この反転電圧及び一方のコンデンサ(2a,2b) の充電電圧を予備電離電極(10a, ...11b)及び各主電極(1a,1b) 間に印加し、上記同様にパルスレーザ光を出力する。
請求項（抜粋）：
ガスレーザ管内に配置された一対の主電極にそれぞれ各ピーキングコンデンサを接続し、これらピーキングコンデンサのうち一方の前記主電極に接続された前記ピーキングコンデンサを放電させ、このピーキングコンデンサの放電による反転電圧及び残りの前記ピーキングコンデンサの充電電圧を加えた倍電圧を前記各主電極間に印加して主放電を発生されるガスレーザ発振方法において、前記各主電極のうちいずれか一方又は他方の主電極に接続された前記各ピーキングコンデンサの各放電回数が均一となるように、前記ピーキングコンデンサをそれぞれ放電させることを特徴とするガスレーザ発振方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 A
, H01S 3/097 E
