特許
J-GLOBAL ID：200903075709258201
微小変位量の測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083039
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294624
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 被検面の面形状を測定するのに必要な、光軸方向の微小変位量を正確に測定できる方法及び装置を提供することを目的としている。【構成】 同一光源1からの可干渉光を被検面15と基準になる参照面14aとに照射する。前記被検波と参照波との偏光をほぼ90°ずらすために参照面と被検面との間に光学異方性材料14を設ける。重畳された参照波と被検波とはビームスプリッタ16で二つに分割され、一方の光路に光学異方性材料19を入れて両光路間にnπ/2(nは自然数)の位相差を与える。偏光子17,20を通ってセンサ18,21上にそれぞれ干渉縞像が結像される。センサ18,21は、被検面の同一点からの反射光を検出する。センサ18,21の出力の反転数と反転タイミングのずれとから、微小変位の方向と量とを算出できる。
請求項（抜粋）：
同一光源からの可干渉光を被検面と基準になる参照面とに照射し、これらから反射される光束を重畳して干渉縞像を作り、該干渉縞像の一点を観測点として参照面と被検面との距離を連続的に移動して該観測点を通過する干渉縞の縞本数をカウントして参照面と被検面との間の距離の変位量を測定する方法において、前記重畳された光束を二つに分割し、一方の光束は直接、他方の光束は別の光学異方性材料を通過させることにより両光束間にnπ/2(nは自然数)の位相差を設け、それぞれの光束の偏光方向を偏光子で揃えて干渉させて二つの干渉縞像を結像させ、被検面の同一点に対応する上記二つの干渉縞像の観測点におかれたセンサから、干渉縞の強度信号を取り出し、該強度信号の反転数から被検面の光軸方向の変位量を算出することを特徴とする微小変位量の測定方法。
IPC (2件)：
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