特許
J-GLOBAL ID：200903075711521181
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237292
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101219
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 試料の交換作業が簡単な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 測定光学部1を測定部11とベース12の二つのユニットで構成し、その測定部11をベース12に対して前後方向に移動して測定位置または試料交換を行う位置のいずれか一方に選択的に配置するための移動機構を設け、また、測定部11を測定位置に配置したとき、この測定部11をベース12に固定するための固定機構を設けている。
請求項（抜粋）：
試料面上の微細構造を測定する顕微鏡であって、探針をもつカンチレバーと、試料を上記探針に対して2次元の方向に走査するスキャナを有し、このスキャナの上方に測定光学部が配置される走査型プローブ顕微鏡において、上記測定光学部は、上記スキャナに対し所定の位置関係で固定されるベースとこのベース上に配置される測定部によって構成され、その測定部のフレームは前面の開口部から後部側に向けて延びる空洞が形成された構造で、その空洞内部に上記カンチレバーが配置され、かつ、このカンチレバーの変位を検出するための光学系が当該フレームに配置されているとともに、上記測定光学部には、上記測定部を上記ベースに対し前後方向に移動して上記カンチレバーを上記スキャナの上方の測定位置またはそのスキャナの上方領域とは干渉しない位置のいずれか一方の位置に選択的に配置するための移動機構と、上記測定部を上記測定位置に配置したときに、当該測定部を上記ベースに対して固定するための固定機構が設けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
