特許
J-GLOBAL ID：200903075717384690
傾斜入射多重スペクトル干渉計を使用する基体の厚さ測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235526
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178626
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、表面の高さの誤差または基体の全体の厚さのような大きい値の厚さを測定する方法およびそのための傾斜入射多重スペクトル干渉計装置を提供することを目的とする。【解決手段】 この傾斜入射多重スペクトル干渉計装置は、多重スペクトル光源28と、光源28からの光が傾斜入射で基体16の第1の表面18に衝突するように、基体16を保持する真空チャックのような支持体22と、基体16の第1の表面18と、それと面する第1の基準表面板14の第1の光学的に平坦な表面24との間の空気空間を限定するように光源28と基体16の間に配置された第1の基準平面板14と、空気空間からの反射光により形成されるフリンジの画像を生成するカメラ38とを具備していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
表面の高さの誤差測定または基体の全体の厚さを測定する傾斜入射多重スペクトル干渉計装置において、第1の多重スペクトル光源と、前記光源からの光が傾斜入射で前記基体の第1の表面に衝突するように、前記基体を保持するように前記光源に関して配置されている支持体と、前記光源と前記基体の間に配置され、前記基体の前記第1の表面との間の空気空間を限定している、前記基体と面する光学的に平坦な第1の基準平面と、前記空気空間からの反射光により形成されるフリンジの画像を生成するカメラとを具備していることを特徴とする傾斜入射多重スペクトル干渉計装置。
IPC (2件)：
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