特許
J-GLOBAL ID：200903075721175311
光変調素子及びその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258186
公開番号（公開出願番号）：特開平6-110023
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 変調効率を大幅に改善することのできる光変調素子及びその駆動方法を提供する【構成】 ニオブ酸リチウム単結晶などの電気光学効果を有する基板11の表面に、金属チタンを熱拡散することによって光導波路12を形成する。該光導波路12の左右両側に、真空蒸着法、フォトリソグラフィー及び反応性イオンエッチングなどの薄膜製造手段によって、アルミニウムや金などの金属薄膜からなる平行結合線路13、13を形成する。基板11の裏面に、金属膜の蒸着法などによってグランドプレーンを形成する。基板11の表面上に入力端子18を形成し、該入力端子18とグランドプレーンとの間に信号源19を接続する。入力端子18を2つに分岐する。第1の分岐片18aを、一方の平行結合線路13の端部に間隙20を介して容量的に結合させ、第2の分岐片18bを、他方の平行結合線路13の端部にタップ21を介して磁界結合させる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された電気光学効果を有する光導波路と、該光導波路の両側方に形成されたマイクロストリップ線路からなる平行結合線路とを備えた光変調素子。
IPC (3件)：
G02F 1/035
, G02B 6/12
, G02F 1/03 502
