微分干渉顕微鏡装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105864
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】観察像から正確に被観察物体の位相分布を求めることができる微分干渉顕微鏡装置を提供する。【解決手段】光源7と、照明光学系2と、結像光学系3とを有し、照明光学系2には光源7からの光を常光と異常光とに分離するノマルスキープリズム9が、結像光学系3には前記常光と異常光とを重ね合わせるノマルスキープリズム13が夫々配置されて構成された微分干渉顕微鏡において、結像光学系3の結像面に配置されたCCDカメラ4と、図示しない前記常光と異常光との間の位相差を変える手段と、CCDカメラ4で受像した画像を処理する画像処理装置5とを備え、前記常光と異常光との間の位相差を変化させてCCDカメラ4で画像を受像し、この画像情報に前記常光と異常光との間の位相差の変化量を変数とする周期関数を重み関数として掛け合わせて積算処理を行うことにより画像情報を得るようにした。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源からの光束を被観察物体へ導く照明光学系と、前記被観察物体に対し透過若しくは反射させた光束を拡大結像するための結像光学系とを有し、前記照明光学系には前記光源からの光束を常光と異常光とに分離する分波手段が、又、前記結像光学系には前記常光と異常光とを重ね合わせる合波手段が配置されて構成された微分干渉顕微鏡において、前記結像光学系の結像面に配置された電子撮像素子と、前記常光と異常光との間の位相差を変えるための手段と、前記電子撮像素子で受像した画像を処理するための装置とを備え、前記常光と異常光との間の位相差を変化させて前記電子撮像素子で画像を受像し、受像した画像情報に前記常光と異常光との間の位相差の変化量を変数とする周期関数を重み関数として掛け合わせて積算処理を行うことにより画像情報を得るようにしたことを特徴とする微分干渉顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G02B 21/00 , G01B 9/02

FI (2件)：

G02B 21/00 , G01B 9/02

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-335315
微分干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101316 出願人：オリンパス光学工業株式会社
微分干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-215580 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る