特許

J-GLOBAL ID：200903075726855680

反応焼結炭化ケイ素製品の製造方法

発明者： 高畑 繁
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-053264
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：

【要約】【構成】 炭化ケイ素及び炭素を主成分とする仮焼体に金属ケイ素を含浸させて反応焼結炭化ケイ素製品を製造する方法において、金属ケイ素の融点以上の温度の減圧下で該仮焼体を気体状の金属ケイ素の雰囲気下に晒し、その表層部分に存在する炭素の少なくとも一部分を炭化ケイ素化した後、該仮焼体に熔融状態の金属ケイ素を反応させることを特徴とする反応焼結炭化ケイ素製品の製造方法。【効果】 本発明によれば、鋳放し肌がきれいで、寸法精度がよく、アルカリ処理によっても肌荒れせず、反応焼結後の機械加工を省略し得る反応焼結炭化ケイ素製品を簡単かつ確実に製造することができる。

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素及び炭素を主成分とする仮焼体に金属ケイ素を含浸させて反応焼結炭化ケイ素製品を製造する方法において、金属ケイ素の融点以上の温度の減圧下で該仮焼体を気体状の金属ケイ素の雰囲気下に晒し、その表層部分に存在する炭素の少なくとも一部分を炭化ケイ素化した後、該仮焼体に熔融状態の金属ケイ素を反応させることを特徴とする反応焼結炭化ケイ素製品の製造方法。