分光反射率測定装置における補正方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294760
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142053
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】2次元画像からの反射光を干渉フィルタによって分光し、各位置の分光反射率を測定する装置において、前記分光反射率を高精度に測定することのできる方法を提供する。【解決手段】干渉フィルタに対する反射光の入射角度による基準分光波長からの波長シフト量を求めるとともに、測定装置固有のフレア光に対するフレア広がり関数を求めておき、カラーチャートを測定して得られた分光反射率に対して、前記フレア広がり関数を用いてフレア補正処理を行った後、波長補間処理を行い、次いで、スペクトル幅補正を行って得られた分光反射率を、前記波長シフト量により補正された干渉フィルタの実効分光波長に対応させることにより、分光反射率を高精度に求めることができる。

請求項（抜粋）：

2次元画像の各測定領域での分光反射率を、前記2次元画像からの反射光を干渉フィルタによって分光して測定する装置における補正方法であって、所定の測定領域の位置に対する前記干渉フィルタの基準分光波長からの波長シフト量を求めておき、前記干渉フィルタを介して得られた分光反射率を、前記位置および前記波長シフト量の関係から導かれる実効分光波長に対する分光反射率として設定することを特徴とする分光反射率測定装置における補正方法。

IPC (3件)：

G01J 3/28 , G01J 3/46 , G01J 3/50

FI (3件)：

G01J 3/28 , G01J 3/46 Z , G01J 3/50

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