特許
J-GLOBAL ID：200903075732375266
超音波脱泡方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-097216
公開番号（公開出願番号）：特開平11-290611
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】液体を塗布装置により支持体に塗布する工程において、塗布液の粘度が高粘度で単位時間当たりの脱泡処理量が多い場合にあっても、塗布液中に含まれる気泡を短時間で、効率的に脱泡、除去する超音波脱泡方法を提供する。【解決手段】気泡を含む液体に超音波を照射して、気泡を除去する超音波脱泡方法において、超音波振動子から照射する超音波発振周波数を、基準となる周波数を中心に所定の周波数帯域幅に連続して変調させ、被脱泡液に照射される超音波の音圧分布を周期的に連続的して変化させる。この音圧分布周期の変化は、被脱泡液中の定在波を緩和、消滅させて、被脱泡液中の気泡を小刻みに振動させる作用により、脱泡を効率的に促進する。
請求項（抜粋）：
気泡を含む液体に超音波を照射して、前記液体から気泡を除去する超音波脱泡方法において、超音波振動子から照射する超音波の発振周波数を、基準となる周波数を中心に所定の周波数帯域幅に連続して変調させることを特徴とする超音波脱泡方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 19/00 C
, G03C 1/025
