特許

J-GLOBAL ID：200903075747697286

薬液供給装置

発明者： 齊藤 高寿
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069695
公開番号（公開出願番号）：特開平10-263456
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】ガスの発生しやすい薬液をフィルターを通して圧送する配管系を有する薬液供給装置において、フィルターに溜まるガスをわずらわしい操作無しに確実に取り除くことができると共に、フィルターの乾燥を防止することができる薬液供給装置を提供する。【解決手段】ウエハ等の処理を行う薬液を溜める薬液タンク10と、薬液タンク10内の薬液を圧送して吐出口から吐出させる薬液ポンプ20と、薬液ポンプ20と吐出口40との間に介在して薬液をろ過する薬液フィルター30とを有する薬液供給装置において、薬液フィルターの出口側と薬液タンクとを接続するガス抜き配管150と、該ガス抜き配管を上記薬液ポンプが起動するときに連動して自動的に開き、該薬液ポンプが停止するときに連動して自動的に閉じる自動バルブ201とを設ける構成、あるいは、薬液フィルターの出口側と薬液の液面より低い位置において薬液タンクとを接続151aするガス抜き配管151を設ける構成とする。

請求項（抜粋）：

ウエハ等の処理を行う薬液を溜める薬液タンクと、該薬液タンク内の薬液を圧送して吐出口から吐出させる薬液ポンプと、該薬液ポンプと吐出口との間に介在して薬液をろ過する薬液フィルターとを有する薬液供給装置において、該薬液フィルターの出口側と薬液タンクとを接続するガス抜き配管と、該ガス抜き配管を上記薬液ポンプが起動するときに連動して自動的に開き、該薬液ポンプが停止するときに連動して自動的に閉じる自動バルブとを設けたことを特徴とする薬液供給装置。