基板とそれを用いた光素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166698
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350050
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】応力が加わった場合においても破損等のおそれがなく、溝の側面の形状が高精度で制御された基板とそれを用いた光素子を提供する。【解決手段】本発明の基板は、LN基板11の表面11aに断面略矩形状の溝12が形成され、この溝12の底面12aと側面12bとの角部は曲率半径が0.5μm以上の凹面13とされていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

板状体の一主面または両面に断面略矩形状の溝が形成され、当該溝の底面と側面との角部は曲率半径が0.5μm以上の凹面とされていることを特徴とする基板。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , B24C 1/04 , G02B 6/122

FI (3件)：

B24C 1/04 B , G02B 6/12 M , G02B 6/12 A

Fターム (7件)：

2H047KA05 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047QA03 , 2H047RA08 , 2H047TA11 , 2H047TA42

引用特許：

審査官引用 (11件)

強誘電体結晶基板の加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-034823 出願人：日本碍子株式会社
光導波路デバイス、進行波形光変調器および光導波路デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-085579 出願人：日本碍子株式会社
特開平4-204815

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