セラミックスサセプターのチャンバーへの取付構造および支持構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-058349
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250858
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】支持部材のセラミックスサセプター側の端部における引張応力を緩和することで、支持部材とサセプターとの接合部分の周辺における気体の漏れを防止できるようにし、同時にサセプターとチャンバーとの間隔を小さくする。【解決手段】本取付構造は、加熱されるサセプター1と、サセプター1の接合面1bに接合されているセラミックス製の支持部材2Bと、支持部材の端部6に接合されている、開口12が設けられたチャンバー13とを備えている。チャンバーの開口と支持部材の内側空間20とが連通する。支持部材の内側空間がチャンバーの内部空間21に対して気密に封止されている。支持部材を接合面1bに平行な方向に見たときに、複数枚のセラミックスが重ね合わされる重ね合わせ部分15が設けられている。

請求項（抜粋）：

加熱されるセラミックスサセプターと、このセラミックスサセプターの接合面に接合されているセラミックス製の支持部材と、この支持部材に接合されている、開口が設けられたチャンバーとを備えており、前記チャンバーの前記開口と前記支持部材の内側空間とが連通し、かつ前記支持部材の内側空間が前記チャンバーの内部空間に対して気密に封止されている取付構造であって、前記支持部材が蛇腹状をなしていることを特徴とする、セラミックスサセプターのチャンバーへの取付構造。

Fターム (9件)：

5F031DA13 , 5F031EA01 , 5F031EA20 , 5F031HA17 , 5F031HA37 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA30 , 5F031MA32

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