特許
J-GLOBAL ID：200903075753858542
ウエハの洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337385
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175184
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【構成】 ウエハ12上のダストを超音波振動させた噴流水を用いて洗浄するウエハ12の洗浄方法において、界面活性剤を含む洗浄液をウエハ12に供給しながら洗浄するウエハの洗浄方法。【効果】 界面活性剤を添加することにより、ウエハ12上に強固に付着したダストとウエハとの吸着力が弱まり、ウエハ12の表面を損傷することなく、ウエハ12に付着したダストを効率よく短時間で除去することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハ上のダストを超音波振動させた噴流水を用いて洗浄するウエハの洗浄方法において、界面活性剤を含む洗浄液を前記ウエハに供給しながら洗浄することを特徴とするウエハの洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/08
