特許
J-GLOBAL ID：200903075764089630
マスク支持装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300879
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130647
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 マスクを保持するマスク保持台の熱膨張による変形を微小なものとすることによって露光吸収体の位置歪の発生を抑制する。【構成】 マスク保持装置は、マスク20を真空吸着するためのマスクチャック5と、マスクチャック5を複数の板バネ7を介して微動自在に支持するベース6と、マスクチャック5をベース6に対して微動させるための圧電素子8とを備えている。マスクチャック5は低熱膨張ガラスからなり、また、板バネ7はねじ15によってねじ止めされている。このため、マスクチャック5の熱膨張による変形が極めて微小となり、ひいてはマスクチャック5に保持されたマスク20の露光吸収体1の位置歪も抑制される。
請求項（抜粋）：
マスクを保持するためのマスク保持台と、前記マスク保持台を弾性部材を介して微動自在に支持する微動ステージとを備え、前記マスク保持台が低熱膨張材料からなることを特徴とするマスク支持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
