特許
J-GLOBAL ID：200903075771881969
トンネル電流検知マイクロデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050559
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102005
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【構成】 櫛歯端面1、2の対向構造を有し、トンネル電流を検知する微細探針3を一方の櫛歯端面保有部に配設し、かつ、微細探針の対向面を集積してなることを特徴とするトンネル電流検知マイクロデバイス。【効果】 小型、微細化可能な、高感度、高精度なトンネル電流検知マイクロデバイスが実現される。加速度センサ、原子間力顕微鏡プローブ、マイクロ走査トンネル顕微鏡への応用が可能となる。
請求項（抜粋）：
櫛歯端面の対向構造を有し、トンネル電流を検知する微細探針を一方の櫛歯端面保有部に配設し、かつ、微細探針の対向面を集積してなることを特徴とするトンネル電流検知マイクロデバイス。
IPC (2件)：
引用特許：
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