特許
J-GLOBAL ID：200903075772292126
クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021748
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227592
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【構成】 一次純水製造装置と二次純水製造装置によって高温超純水を製造し、濃厚排水を多重効用濃縮装置で濃縮し、蒸発乾固装置で固形化し、該濃縮装置と乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へ戻し、希薄排水中の低沸点成分を一次純水製造装置へ戻し、多重効用濃縮装置の濃縮水を処理過程で冷却した後、イオン交換装置で無機イオン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純水製造装置へ戻し、一次および二次純水製造装置、多重効用濃縮装置および蒸発乾固装置の熱源に、電力と蒸気を同時に供給できるコージェネレーション装置からの蒸気を用いる方法である。【効果】 薬品使用量を削減し、排水処理装置の負荷を低減し、超純水製造および排水処理を一貫して行うことができる。コージェネレーション装置で電力を賄い、純水製造装置、多重効用濃縮装置と蒸発乾固装置に必要な熱を供給できる。
請求項（抜粋）：
一次純水製造装置と二次純水製造装置によって高温超純水を製造し、超純水使用後の濃厚排水を多重効用濃縮装置によって濃縮し、さらに蒸発乾固装置によって固形化して処理し、該濃縮装置および乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルし、超純水使用後の希薄排水中の低沸点成分を、必要に応じて低沸点成分処理装置によって自己蒸発過程による排水の冷却を行いながら処理した後、一次純水製造装置へリサイクルし、多重効用濃縮装置の濃縮水、および適宜設けられる低沸点成分処理装置の濃縮水を、処理過程で冷却した後、イオン交換装置によって無機イオン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルし、一次および二次純水製造装置、多重効用濃縮装置および蒸発乾固装置の熱源に、電力と蒸気を同時に供給できるコージェネレーション装置からの蒸気を用いることを特徴とする、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法。
IPC (4件)：
C02F 1/16 ZAB
, B01D 19/00 ZAB
, C02F 1/20 ZAB
, C02F 1/42 ZAB
