特許

J-GLOBAL ID：200903075777615420

スマート・ポートドアを有するSMIFロードポートインターフェース

発明者： ローズンクイスト フレデリック ティー
出願人/特許権者： アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  宍戸 嘉一 ,  村社 厚夫 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-513017
公開番号（公開出願番号）：特表2004-537850
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】ポッドドアの前面とポートドアの前面とが接触または近接できるようにし、かつポートドアとポッドドアとの間隔の正確な制御を提供することにある。【解決手段】ポートドアの前面とロードポート組立体上にローディングされたポッドドアの前面との相対間隔をダイナミックに調節して、ポッドの前面のあらゆる不適正位置を補償できるポートドア位置補償組立体を有するSMIFロードポート組立体を開示する。位置補償組立体は、ポートドア内で直線移動できるように取付けられたプランジャと、該プランジャの位置を検出するセンサとを有している。ロードポート組立体上にローディングされたポッドがポートドアに向かって前進されると、ポッドドアの前面がプランジャに接触し、位置補償組立体がポッドドアの正確な位置を識別する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ポッドがポッド前進板上でポートに向かって前進された後に、ワークを、ロードポートを通して、ロードポート組立体上にローディングされたポッドとロードポート組立体が取付けられているプロセスツールとの間で搬送するための、ロードポート組立体上に取付けられた位置補償組立体であって、ロードポート組立体が前面を備えたポートドアを有し、ポッドがポッドドアおよびポッドシェルを有し、ポッドドアがポートドアの前方に対面する前面を備えている構成の位置補償組立体において、 ポッドがポッド前進板上でポートドアに向かって前進し始めた後に、ポートドアの前面とポッドドアの前面との間隔を検出するセンサシステムと、 該センサシステムにより検出された前記間隔に基いて、ポートドアおよびポッドドアの少なくとも一方の位置を調節する手段とを有することを特徴とする位置補償組立体。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 F

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031JA01 ,  5F031JA08 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031KA20 ,  5F031MA15 ,  5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-228174   出願人：東京エレクトロン株式会社