特許
J-GLOBAL ID：200903075787519895
ウエハチヤツク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036818
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 耐久性を高め、表面剥離によるウエハ汚染を防止し、異物付着によるウエハの平面矯正の劣化を防止するとともにコストの低減を図ったウエハチャックを提供する。【構成】 第1の物体の投影像を感光剤を塗布した第2の平行状物体に投影レンズを通して露光するための投影露光装置において、第2の平板状物体を支持する支持台の材料として、SiC(6-a〜6-c)にSi(7-a、7-b)を含浸させたセラミクスを用いる。
請求項（抜粋）：
第1の物体の投影像を感光剤を塗布した第2の平行状物体に投影レンズを通して露光するための投影露光装置において、第2の平板状物体を支持する支持台の材料として、SiCにSiを含浸させたセラミクスを用いることを特徴とするウエハチャック。
IPC (2件)：
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