特許

J-GLOBAL ID：200903075791027816

ウエハの研磨終点検出方法およびそれに用いる化学機械研磨装置

発明者： 久保 富美夫
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183001
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 研磨されたウエハの研磨面の状態をより精密に示す指標を用いてCMP研磨の終点を検出する方法の提供。【解決手段】 光源から光を照射し、その反射光を光ファイバ-に集光して光の色成分を認識するカラ-識別センサを用い、予め研磨されるウエハ上の追跡する物質の色成分をカラ-識別センサにデジタル値で認識させ、この色成分が認識されるときはonの状態に表示し、この色成分が認識されないときはoffの状態に表示し、回転しているウエハの表面の点(中心点は除く)に前記カラ-識別センサより光を照射し、ウエハの位置座標と色成分のデジタル値を検出させ、この検出した値(m)と位置(x,y)が、予め記録した最適なウエハ研磨終了点を示す基準色成分のデジタル値(n)とウエハ位置(x,y)の値に一致したときをウエハの研磨終点とする。

請求項（抜粋）：

光源から光を照射し、その反射光を光ファイバ-に集光して光の色成分を認識するカラ-識別センサを用い、予め研磨されるウエハ上の追跡する物質の色成分をカラ-識別センサにデジタル値で認識させ、この色成分が認識されるときはonの状態に表示し、この色成分が認識されないときはoffの状態に表示し、回転しているウエハの表面の点(中心点は除く)に前記カラ-識別センサより光を照射し、ウエハの位置座標と色成分のデジタル値を検出させ、この検出した値(m)と位置(x,y)が、予め記録した最適なウエハ研磨終了点を示すウエハの色成分のデジタル値(n)とウエハ位置(x,y)の値に一致したときをウエハの研磨終点とすることを特徴とする、ウエハの研磨終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

H01L 21/304 622 S ,  B24B 37/04 K

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058BA07 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17