特許
J-GLOBAL ID：200903075802574580
シリコンリボン製造装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205153
公開番号（公開出願番号）：特開2001-031496
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：
【要約】【課題】 良好な結晶成長を行わせるとともに、製造効率の高いシリコンリボン製造装置を提供する。【解決手段】 シリコンリボン製造装置は、ルツボ8と、ルツボ8に原料を供給する原料供給部2と、ルツボ8に供給された原料を加熱するヒーター3と、加熱により溶融した原料液S1を回転円筒12(冷却体表面)に接触させ、結晶成長させたリボン状シリコンS2をルツボ8から取り出す冷却体とを備え、原料供給部2が、ルツボ8内のシリコン溶融液S1をおしのけるための排液バルク体6と、供給される原料Sの少なくとも一部を、排液バルク体6を介してルツボ8内に導くためのパイプ61(導体)と、ルツボ8内の原料液面の昇降に応じて排液バルク体6をルツボ8内に抜き挿しするバルク体挿抜手段(9、21)とを具備する。
請求項（抜粋）：
ルツボと、ルツボに原料を供給する原料供給部と、ルツボに供給された原料を加熱する加熱部と、加熱により溶融した原料液を冷却体表面に接触させ、結晶成長させたリボン状シリコンを得る冷却体とを備えたシリコンリボン製造装置であって、原料供給部が、ルツボ内の原料液をおしのけるための排液バルク体と、供給される原料の少なくとも一部を、排液バルク体を介してルツボ内に導くための導体と、ルツボ内の原料液面の昇降に応じて排液バルク体をルツボ内に抜き挿しするバルク体挿抜手段とを具備することを特徴とするシリコンリボン製造装置。
Fターム (9件)：
4G077BA04
, 4G077CF03
, 4G077CF05
, 4G077EG14
, 4G077EG20
, 4G077EG29
, 4G077EH06
, 4G077PE03
, 4G077PE07
