特許
J-GLOBAL ID：200903075805664717
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保田 千賀志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-036303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220111
出願日： 1995年02月01日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 ギャップの大きさに応じて変化する電気的量のうち、ギャップ検出に寄与する電気的量のみを抽出して、プローブに設けられた導電性針の先端と対向部材の表面とのギャップを、極めて高い精度で検出する。【構成】 ほぼ同一形状の2つのプローブ部材からなるプローブセット24を少なくとも1セット備え、かつ、一方のプローブ部材241に設けられた導電性針251の先端と、該針の先端に向かい合わせて配置された対向部材33の表面との間のギャップの大きさを所定の電気的量(たとえば、キャパシタンス)に基づき検出するギャップ検出回路52を備えてなる、プローブ装置であって、前記ギャップ検出回路は、前記プローブ部材241を介して取得される電気的量のうち、ギャップ検出に寄与しない電気的量を、他方のプローブ部材242を介して取得される電気的量によりキャンセルして、前記ギャップの大きさを検出することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ほぼ同一形状の、主プローブ部材と補償プローブ部材とからなるプローブセットを少なくとも1セット備え、かつ、前記主プローブ部材に設けられた導電性針の先端と、該針の先端に向かい合わせて配置された対向部材の表面とのギャップの大きさを所定の電気的量に基づき検出するギャップ検出回路を備えてなる、プローブ装置であって、前記ギャップ検出回路は、前記主プローブ部材を介して取得される電気的量のうち、ギャップ検出に寄与しない電気的量を、前記補償プローブ部材を介して取得される電気的量によりキャンセルして、前記ギャップの大きさを検出する、ことを特徴とするプローブ装置。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, G11B 9/00
, H01J 37/28 Z
