特許

J-GLOBAL ID：200903075810318711

ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 大石 伸司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163065
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352592
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 ステージの動特性を改善し、装置の大型化等を招くことなく位置決めの高速化や高精度化を図る。【解決手段】 ほぼ鉛直な方向に移動可能なステージと、このステージを前記ほぼ鉛直な方向に移動させる駆動機構40と、ステージの重さとバランスするカウンタマス61と、このカウンタマスをステージに連結している連結部材62を巻回支持する滑車63とを備えたステージ装置において、滑車に対する回転方向の駆動力またはカウンタマスに対するほぼ鉛直な方向に沿った駆動力のうちいずれかまたは双方を付与する駆動機構63c、80を設ける。

請求項（抜粋）：

ほぼ鉛直な方向に移動可能なステージと、このステージを前記方向に移動させる駆動機構と、前記ステージの重さとバランスするカウンタマスと、このカウンタマスを前記ステージに連結している連結部材を巻回支持する滑車とを備え、前記滑車に対する回転方向の駆動力または前記カウンタマスに対するほぼ鉛直な方向に沿った駆動力のうちいずれかまたは双方を付与する駆動機構を具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/25 ,  B23Q 5/34 520 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G12B 5/00 T ,  B23Q 5/34 520 Z ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/14 B

Fターム (14件)：

2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB13 ,  2F078CC11 ,  3C048BB12 ,  3C048DD06 ,  3C048DD26 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046GA11 ,  5F046GC04