特許

J-GLOBAL ID：200903075812882690

微細構造作製方法

発明者： 横尾 篤
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠彦 ,  石原 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242758
公開番号（公開出願番号）：特開2009-072980
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】高度な微細パタン描画プロセスを用いることなく、微細パタンテンプレートを作製し、そのテンプレートを用いて対象基板表面に微細構造を転写可能な微細構造を作製する。【解決手段】本発明は、磁気記録媒体上に磁化パタンを形成し、磁性粒子をこの磁性パタンに従って磁気記録媒体表面に配列し、磁気記録媒体を別の基板に押し付けることにより、磁気記録媒体表面に配列した磁性粒子のパタンを基板に転写する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微細パタンのテンプレートを作製し、該テンプレートを用いて対象物表面に微細パタンを複製するための微細構造作製方法であって、 磁気記録媒体上に磁化パタンを形成する工程と、 磁性粒子を前記磁化パタンに従って前記磁気記録媒体表面に配列する工程と、 前記磁性粒子が表面に配列された前記磁気記録媒体をテンプレートとして別な基板に対して押し付ける工程と、を 少なくとも含むことを特徴とする微細構造作製方法。

IPC (6件)：

B29C 33/38 ,  B82B 3/00 ,  G11B 5/84 ,  G11B 5/855 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (6件)：

B29C33/38 ,  B82B3/00 ,  G11B5/84 Z ,  G11B5/855 ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 B

Fターム (31件)：

4F202AG05 ,  4F202AG26 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ08 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD02 ,  4F202CD12 ,  4F202CD22 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AH79 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5D112AA02 ,  5D112AA05 ,  5D112AA17 ,  5D112AA24 ,  5D112GA00 ,  5D112GA17 ,  5F046AA28