特許

J-GLOBAL ID：200903075826165451

基板搬送装置及び基板処理装置

発明者： 小泉 浩 ,  網倉 紀彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-076104
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288719
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】複雑な機構を用いず、高い搬送効率で基板を搬送することのできる基板搬送装置および、これを用いたスループットの高い処理を行うことのできる基板処理装置を提供する。【解決手段】各々旋回アーム51,61、中段アーム及び基板保持アームの3つのアームからなり、共通の旋回中心の回りを旋回する第1及び第2の多関節アーム2A、2Bを用い、第1及び第2のロードロック室14,15に対して基板Wの受け渡しを行うときには、伸縮駆動部を駆動して左右に対称でかつ前進するにつれて互いに離れる方向にカーブを描くように第1及び第2の基板保持アーム2A、2Bを伸縮動作させ、第1及び第2の基板搬送容器11,12に対して基板Wの受け渡しを行うときには、伸縮動作の一部において更に旋回駆動部を駆動して伸縮動作と旋回動作との組み合わせにより基板保持アームを直線運動させる。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

旋回自在な第1の旋回アーム及び基板を保持するための第1の基板保持アームを含む少なくとも3本のアームと、第1の旋回アームを駆動するための第1の旋回駆動部と、アームを伸縮駆動するための第1の伸縮駆動部と、を有する第1の多関節アームと、 前記第1の旋回アームと旋回中心が共通である旋回自在な第2の旋回アーム及び基板を保持するための第2の基板保持アームを含む少なくとも3本のアームと、第2の旋回アームを駆動するための第2の旋回駆動部と、アームを伸縮駆動するための第2の伸縮駆動部と、を有する第2の多関節アームと、を備え 第1及び第2の多関節アームの動作モードは、 第1及び第2の伸縮駆動部を動作させて第1及び第2の基板保持アームの移動軌跡が、前記旋回中心を通る水平な直線に対して左右に対称でかつ前進するにつれて前記直線から離れる方向にカーブを描くようにし、この伸縮動作の一部において第1及び第2の旋回駆動部も駆動して所定の軌跡となるようにするモードと、 第1及び第2の旋回駆動部を駆動して第1及び第2の多関節アームを旋回動作するモードと、を含むことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B65G49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B25J9/06 D ,  B65G49/07 D

Fターム (25件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA32 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07