特許
J-GLOBAL ID：200903075831411770
インクジェットヘッドおよびインクジェット装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162721
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010879
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 発熱体で発生した熱を効率よくインクに伝達し、かつ、瞬時に気泡を発生せしめる伝熱特性に優れた保護層を有するバブルジェットヘッドの提供。【解決手段】 Si基板9上には表面酸化膜10が形成され、その上にスパッタリング法により発熱抵抗体層11が形成されている。この発熱抵抗体層11の上には電極12、絶縁層13および保護膜14が形成されている。この保護膜14は水素とフッ素で安定化した炭素のネットワークa-(C:H:F)と酸素で安定化したケイ素のネットワークa-(Si:O)とを含み、量ネットワークは互いに独立して存在している。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するための熱エネルギーを発生する発熱体を含むインクジェットヘッドであって、前記発熱体は、インクに熱エネルギーを付与する発熱抵抗層と、該発熱抵抗層をインクから保護するための絶縁保護膜とからなり、該絶縁保護膜は、水素とフッ素で安定化した炭素を含む第1のアモルファスネットワーク構造と、該第1のアモルファスネットワーク構造から独立し、かつ、酸素で安定化したケイ素を含む第2のアモルファスネットワーク構造とから構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
