特許
J-GLOBAL ID：200903075834295151
流量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273208
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 熱伝導性が低く対衝撃性のある流量センサを提供する。【構成】 絶縁性の基板8と、この基板8の一部をエッチングして形成された堀9と、この堀9の上空を跨いで形成された梁10と、この梁10上に設けられた発熱体12と、この発熱体12が周囲の流体Aによって奪われる発熱量の変化を測定する発熱体温度測定用薄膜抵抗体13と、流体Aが流れる周囲の温度を測定する流体温度測定用薄膜抵抗体16とを備えた感熱式の流量センサにおいて、流体A中に置かれた梁10の上流側に位置する堀9に基板強度を補強するための基板補強手段を設けた。
請求項（抜粋）：
絶縁性の基板と、この基板の一部をエッチングして形成された堀と、この堀の上空を跨いで形成された梁と、この梁上に設けられた発熱体と、この発熱体が周囲の流体によって奪われる発熱量の変化を測定する発熱体温度測定用薄膜抵抗体と、前記流体が流れる周囲の温度を測定する流体温度測定用薄膜抵抗体とを備えた感熱式の流量センサにおいて、前記流体中に置かれた前記梁の上流側に位置する堀に基板強度を補強するための基板補強手段を設けたことを特徴とする流量センサ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
