特許

J-GLOBAL ID：200903075835073730

プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法

発明者： 鈴木 勝
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-237642
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050271
出願日： 2001年08月06日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】 従来は測定装置のプレートをプレートに付設されたシリンダでメインチャックを押圧し、この時のプレートとメインチャック間の変位量をプレートに直付けされたレーザー変位計を用いて測定しているため、シリンダによる押圧時の荷重によってプレート自体が撓んでもレーザー変位計ではプローブカードの撓み量を含んだメインチャックとプローブカード間の相対的な変位量(相対変位量)を測定するだけで、プレートの撓みによるZ方向の変位量(絶対変位量)を測定することができない。【解決手段】 本発明のプローブカード特性測定装置10は、メインチャック21上に載置され且つプローブカード26からの荷重を検出するロードセル11と、メインチャック21の上昇に伴うプローブカード26の絶対変位量をメインチャック21の上昇量を介して検出する変位センサ13とを備えている。

請求項（抜粋）：

昇降可能な載置台を上昇させてその上の被検査体にプローブカードを接触させて上記被検査体の電気的特性を検査する際のプローブカードの特性を測定する装置であって、上記載置台上で上記プローブカードからの荷重を検出する荷重センサと、上記載置台の上昇に伴う上記プローブカードの絶対変位量を検出する変位センサとを備えたことを特徴とするプローブカード特性測定装置。

IPC (4件)：

G01R 35/00 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 35/00 L ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (16件)：

2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G132AA00 ,  2G132AF07 ,  2G132AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA70 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06