特許

J-GLOBAL ID：200903075845511166

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 北澤 良幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046278
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249632
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 マイクロレンズで集光された入射光を、側壁に反射膜が形成された開口部を介して受光部へと導く固体撮像素子において、開口部の寸法を拡大して集光効率増大および感度向上を実現し、かつ遮光層と開口部側壁の反射膜との間隙からの光の漏れ込みをなくして乱反射などによる混色を防止する。【解決手段】 第3層間絶縁膜33を覆う遮光層17において、フォトダイオード11に対応する位置には、光を透過させるための窓17Aが設けられている。第1ないし第3層間絶縁膜31〜33において、窓17Aに対応する位置には、開口部(掘り込み穴)24Aが設けられている。開口部24Aの側壁に形成された反射膜24は、窓17Aの端縁17Bで遮光層17と隙間なく接合され、受光部であるフォトダイオード11以外の領域は、反射膜24および遮光層17によって完全遮光されている。

請求項（抜粋）：

光電変換を行う受光部と、この受光部に対向して配設されたマイクロレンズとを備えた固体撮像素子であって、前記受光部と前記マイクロレンズとの間に設けられた層間絶縁膜と、前記受光部に対応する位置に光を透過させるための窓を有し、前記窓以外の前記層間絶縁膜の表面を覆う遮光層と、前記層間絶縁膜の前記窓に対応する位置に、前記層間絶縁膜の厚さ方向に穿設された開口部と、前記マイクロレンズによって外部から集光された光を反射させつつ前記受光部へと導くように前記開口部の側壁に設けられ、前記窓の端縁で前記遮光層に隙間なく接合された反射膜とを備えたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H01L 31/10

FI (3件)：

G02B 3/00 Z ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 G

Fターム (23件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118EA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD15 ,  5F049MA01 ,  5F049NA17 ,  5F049NB05 ,  5F049RA08 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ06 ,  5F049SZ16 ,  5F049SZ20