特許

J-GLOBAL ID：200903075846962218

表示装置用アレイ基板の製造方法

発明者： 久保 明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 蔦田 璋子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-380887
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184999
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示装置等に用いる、エッチングストッパ型のTFTアレイ基板の製造方法において、必要なパターニング工程数やマスクパターンの数を削減することができるものを提供する。【解決手段】走査線11、ゲート電極11a及び走査線パッド部11bを形成し、ゲート絶縁膜15、半導体膜36及び絶縁保護被膜2を堆積する。この上にレジスト6を塗布した後、マスクパターン65を用いる強度の大きい表側からの露光と、走査線11等をマスクとする強度の小さい裏面からの露光とにより、一種のハーフトーン露光を実現する。このようにして得られた段差付きレジストパターン61の下で、まずコンタクトホール25を作成する。次いで、適度のアッシングにより、膜厚の大きい走査線11上等の個所のみレジストパターンを残すようにする。そして、この縮小したレジストパターン62の下で、チャネル保護膜(エッチングストッパ)21を作成する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に複数本の走査線、ゲート電極及び走査線パッド部を含む第1配線層パターンを形成する工程と、この第1導電層パターンを覆うゲート絶縁膜、半導体被膜及び保護絶縁被膜を堆積またはコーティングした後、前記保護絶縁被膜をパターニングして前記ゲート電極を覆う個所にチャネル保護膜を形成する工程と、前記走査線に略直交する信号線、ソース電極、及びドレイン電極を含む第2配線層パターンを形成する工程と、前記ゲート絶縁膜を貫いて前記走査線パッド部を露出させるコンタクトホール形成工程と、前記ソース電極と電気的に接続される画素電極を含む導電層パターンを形成する工程とを含む表示装置用アレイ基板の製造方法において、前記コンタクトホール形成工程は、前記走査線パッド部の個所に抜き部分を有するとともに、前記ゲート電極を覆う個所の厚さが、この個所をソース電極側及びドレイン電極側から挟み込む個所の厚さよりも大きい段差付きレジストパターンを形成する工程と、この段差付きレジストパターンの下でエッチングを行なう工程とからなり、前記チャネル保護膜を形成する工程は、前記段差付きレジストパターンから、このうちの厚さの大きい個所のみが残留した縮小レジストパターンを形成する工程と、該縮小レジストパターンの下でエッチングを行うことにより前記チャネル保護膜を形成する工程とからなることを特徴とするアレイ基板の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338

FI (4件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 616 N

Fターム (79件)：

2H092GA33 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB53 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KB14 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA28 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA27 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110NN04 ,  5F110NN14 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ12