特許
J-GLOBAL ID:200903075852909400
アクティブマトリクス基板および液晶表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-298611
公開番号(公開出願番号):特開2002-110996
出願日: 2000年09月29日
公開日(公表日): 2002年04月12日
要約:
【要約】【課題】 ゲート電極とソース配線のリーク不良の発生率の低減が可能なアクティブマトリクス基板を提供するとともに、さらに画素部の欠陥修正が不要である液晶表示装置を提供する。【解決手段】 少なくともゲート電極のソース電極側の縁202a2とゲート電極の先端縁202a3を含むゲート電極の縁を乗り越える個所に半導体層205bが形成され、かつ、ソース配線220は、ゲート電極のソース電極側の縁202a2よりも内側に配置されるようにアクティブマトリクス基板2を形成する。これによって、第1の絶縁膜204に亀裂が生じるなど、カバーレッジが十分でない場合に、この部分からエッチング液の染み込みによってガラス基板201が侵食され、ソース配線210とゲート電極202a1とがリークするような不良の低減が可能となる。
請求項(抜粋):
絶縁基板上にゲート配線および前記ゲート配線に接続されるゲート電極が形成され、前記ゲート配線およびゲート電極を覆って絶縁膜が形成され、前記絶縁膜の上で、前記ゲート電極上に半導体層、ソース電極およびドレイン電極が形成され、前記ゲート配線に交差するソース配線が前記ソース電極に接続され、画素電極が前記ドレイン電極に接続されるアクティブマトリクス基板において、前記ソース配線は、前記ゲート電極と重畳する領域を有し、前記ソース配線が、前記ゲート電極の縁を乗り越える箇所に前記半導体層が形成されることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
IPC (3件):
H01L 29/786
, G02F 1/1368
, G09F 9/30 338
FI (5件):
G09F 9/30 338
, H01L 29/78 612 C
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 617 J
, H01L 29/78 618 C
Fターム (91件):
2H092JA26
, 2H092JA29
, 2H092JA38
, 2H092JA42
, 2H092JA44
, 2H092JB13
, 2H092JB23
, 2H092JB32
, 2H092JB33
, 2H092JB38
, 2H092JB51
, 2H092JB57
, 2H092JB63
, 2H092JB69
, 2H092KA05
, 2H092KA07
, 2H092KB14
, 2H092MA05
, 2H092MA08
, 2H092MA14
, 2H092MA15
, 2H092MA16
, 2H092MA18
, 2H092MA19
, 2H092MA20
, 2H092MA27
, 2H092MA35
, 2H092MA37
, 2H092MA41
, 2H092NA27
, 2H092NA29
, 2H092PA06
, 5C094AA32
, 5C094AA42
, 5C094AA43
, 5C094AA48
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094CA24
, 5C094DA13
, 5C094DB01
, 5C094DB04
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA06
, 5C094EA10
, 5C094EB02
, 5C094EB04
, 5C094ED03
, 5C094ED11
, 5C094FA01
, 5C094FA02
, 5C094FB12
, 5C094FB14
, 5C094FB15
, 5F110AA26
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE01
, 5F110EE44
, 5F110FF01
, 5F110FF03
, 5F110FF09
, 5F110FF24
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG25
, 5F110GG35
, 5F110GG45
, 5F110HK04
, 5F110HK07
, 5F110HK09
, 5F110HK16
, 5F110HK22
, 5F110HK25
, 5F110HK33
, 5F110HK35
, 5F110HL03
, 5F110HL23
, 5F110HM19
, 5F110NN04
, 5F110NN14
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110NN72
, 5F110NN73
, 5F110QQ09
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