感光性樹脂組成物および耐熱性樹脂膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150454
公開番号（公開出願番号）：特開2004-054254
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】転写痕やスジ引き等の欠陥を生じにくい感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)特定の構造を有する樹脂と、(b)感光剤と、(c)大気圧下における沸点が100°C以上140°C以下の有機溶媒とを含有し、かつ、(c)成分の含有量が有機溶媒全量に対して50重量%以上100重量%以下である感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造を有する樹脂と、(b)感光剤と、(c)大気圧下における沸点が100°C以上140°C以下の有機溶媒とを含有し、かつ、(c)成分の含有量が有機溶媒全量に対して50重量%以上100重量%以下である感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/037 , C08G73/06 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/037 501 , C08G73/06 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

Fターム (103件)：

2H025AA10 , 2H025AA18 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025CC03 , 2H025EA04 , 2H025FA17 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PB03 , 4J043PB04 , 4J043PB05 , 4J043PB07 , 4J043PB11 , 4J043PB13 , 4J043PB14 , 4J043PB17 , 4J043PB23 , 4J043QB15 , 4J043QB23 , 4J043QB24 , 4J043QB25 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QB32 , 4J043QB33 , 4J043QB34 , 4J043RA35 , 4J043RA39 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA44 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA02 , 4J043TA22 , 4J043TA47 , 4J043TA67 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA222 , 4J043UA252 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA362 , 4J043UA632 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB022 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB132 , 4J043UB141 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043VA092 , 4J043VA102 , 4J043XB07 , 4J043XB09 , 4J043ZB02 , 4J043ZB11 , 4J043ZB48 , 4J043ZB50

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-020743
表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-189396 出願人：東レ株式会社

審査官引用 (2件)

特開平3-020743
表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-189396 出願人：東レ株式会社

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