特許
J-GLOBAL ID：200903075859641232
真空保管庫
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237829
公開番号（公開出願番号）：特開平6-063379
出願日： 1992年08月13日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 真空保管されたウエハや硝子基板等の保管物に付着した炭素系の有機物からなる汚染物質を有効に取り除く。【構成】 保管物2を保管する真空保管庫1内に紫外線ランプ4を配設し、この紫外線ランプ4により紫外線を保管物2に照射することにより、真空保管中に保管物2に付着した汚染物質を取り除く。
請求項（抜粋）：
保管物を保管する真空保管室と、該真空保管室又はこの近傍の室に設けられ上記保管物に紫外線を照射する紫外線ランプとを備えたことを特徴とする真空保管庫。
IPC (2件)：
B01J 3/00
, H01L 21/304 341
