特許
J-GLOBAL ID：200903075865040119
走査電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-306205
公開番号（公開出願番号）：特開平6-139985
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 対物レンズと試料との間に電子線に対する減速電界を発生させる構造の走査電子顕微鏡において、試料の装着・交換時における試料への電圧印加を自動的に制御する。【構成】 スイッチS1が閉じて加速電圧5が印加されている第1条件と、陰極1と試料18との間に設けられたバルブG1、バルブG2の両者が開いている第2条件と、試料交換機構57が試料18を試料ステ-ジ19に載せるために通過するバルブG3が閉じている第3条件とが満されると、スイッチS2が閉じて試料18に重畳電圧6が印加される。試料ホルダ21と試料ステージ19とは放電抵抗58を介して電気的に接続され、スイッチS2が開放されると試料18にチャージされた電荷が試料ホルダ21、試料ステージ19を介して放電される。
請求項（抜粋）：
電子源から放出された一次電子線を試料上で走査し、当該試料から発生した二次信号に基づいて走査像を得る走査電子顕微鏡において、試料表面から発生した二次信号を対物レンズより電子源側で検出する二次信号検出手段と、試料に負電圧を印加して、一次電子線に対する減速電界を試料と対物レンズとの間に発生させる手段と、試料の装着・交換時の準備動作に連動して前記試料への負電圧印加を制御する手段とを具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/244
, H01J 37/28
