特許
J-GLOBAL ID：200903075877064978
高速熱処理システム用基板輸送組立体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-558347
公開番号（公開出願番号）：特表2003-517405
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2003年05月27日
要約：
【要約】ローディング/アンローディングゾーン及び処理ゾーンを有する処理チャンバ、処理ゾーンで基板52を加熱するための加熱組立体、及び処理チャンバを通じて基板52を輸送するための輸送組立体を含む、フラットパネル表示装置に用いる高速熱処理システム。【解決手段】 輸送組立体は、処理ゾーンを通じてローディング/アンローディングゾーンから基板52を輸送するための送りコンベヤ50、及び基板52が処理ゾーンを通じて輸送された後に、送りコンベヤ50からローディング/アンローディングゾーンへ基板52を輸送するための基板戻し組立体を含む。基板戻し組立体は、戻しコンベヤ56、及び送りコンベヤ50から戻しコンベヤ56へ基板52を輸送するための基板受け器54を含み得る。
請求項（抜粋）：
大面積の基板に用いる高速熱処理システムであって、 ローディング/アンローディングゾーンと処理ゾーンとを有する処理チャンバ、 前記処理ゾーンで基板を加熱するための加熱組立体、及び 前記処理チャンバを通じて基板を輸送するための輸送組立体、から成り、 前記輸送組立体が、 前記処理ゾーンを通じて前記ローディング/アンローディングゾーンから基板を輸送するための送りコンベヤ、及び 基板が前記処理ゾーンを通じて輸送された後に前記送りコンベヤから前記ローディング/アンローディングゾーンへ基板を輸送するための基板戻し組立体、から成る、ところの高速熱処理システム。
IPC (4件)：
B65G 49/06
, F27B 9/24
, F27B 9/39
, F27D 3/12
B65G 49/06 Z
, F27B 9/24 R
, F27B 9/39
, F27D 3/12
4K050AA02
, 4K050BA07
, 4K050BA17
, 4K050CF06
, 4K050CF16
, 4K050CG09
, 4K050DA01
, 4K055AA06
, 4K055BA03
, 4K055BA05
, 4K055HA01
, 4K055HA11
, 4K055HA29
