特許

J-GLOBAL ID：200903075895397690

シャドウマスク製造に用いるフォトレジスト用剥離剤

発明者： 藤本 義清 ,  赤岸 賢治 ,  角田 隆
出願人/特許権者： 旭化成株式会社 ,  北沢薬品株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323732
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142231
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 カラーブラウン管用シャドウマスクを製造する際の、新規なフォトレジスト用剥離剤の提供。【解決手段】 多価アルコールのエーテル誘導体、エステル誘導体、エーテルエステル誘導体よりなる群から選ばれる少なくとも1種と、アルカリ金属水酸化物と、キレート化合物とを含有する水溶液からなり、より好ましくは、更に多価アルコールを含有する、シャドウマスク製造に用いるフォトレジスト用剥離剤。

請求項（抜粋）：

多価アルコールのエーテル誘導体、エステル誘導体、エーテルエステル誘導体よりなる群から選ばれる少なくとも1種と、アルカリ金属水酸化物と、キレート化合物とを含有する水溶液からなることを特徴とするシャドウマスク製造に用いるフォトレジスト用剥離剤。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  G03F 1/00 ,  H01J 9/14

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  G03F 1/00 B ,  H01J 9/14 G

Fターム (8件)：

2H095AA02 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA07 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096LA03 ,  5C027HH11