特許

J-GLOBAL ID：200903075895476060

カラーフィルター欠陥検査装置

発明者： 佐藤 正明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154034
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012742
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 赤、緑、青の色感度特性が異なった撮像素子で撮像しても均一な赤、緑、青の色感度特性を有する撮像素子として撮像可能とする。【構成】 調光ダイヤル17,18,19を操作して各光源13,14,15の光量を調整し、撮像素子20で撮像される各フィルター素子11R,11G,11B の撮像画像の輝度を同一の輝度に設定する。フィルター素子11B の一部に欠陥部22が存在すると、隣接するフィルター素子11R,11G の輝度分布と明らかに相違するので、信号処理装置21は欠陥と容易に判断し、信号処理装置21による煩わしい信号処理が不要となる。

請求項（抜粋）：

赤、緑、および青のフィルター素子からなる検査対象としてのカラーフィルターと、独立した赤、緑、および青の光を発する3個の光源を有しこれら各光源の光を合成した光で上記カラーフィルターを照明する照明手段と、この照明手段で照明されたカラーフィルターの画像を撮像する撮像素子と、上記各光源の光量を調整し上記撮像素子で撮像される上記各フィルター素子の撮像画像の輝度を均一に設定する調光手段と、この調光手段で調整された光量で上記照明手段により照明された上記カラーフィルターを撮像した上記撮像素子の出力に基づいて上記カラーフィルターの欠陥を検査する信号処理手段とを具備したことを特徴とするカラーフィルター欠陥検査装置。