特許
J-GLOBAL ID：200903075899945617
静電容量型圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241315
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062286
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 センサ特性の安定した静電容量型圧力センサの提供。【解決手段】 ガラス基板20上に形成された電極引き出し部22のガラス基板20とシリコン基板10とで形成されるギャップ60部に突起部14を設け、電極引き出し部22とシリコン基板10とのギャップ61をその周辺のギャップ60より小さい構造とし、ギャップ61を樹脂系封止剤で封止した静電容量型圧力センサ。
請求項（抜粋）：
電極が形成された第1の基板と、圧力に応じて変形するダイアフラムが形成された第2の基板からなり、前記ダイアフラムと前記電極とがギャップをおいて互いに対向する関係となるように前記第1の基板及び第2の基板とが接合されたセンサチップを備え、前記ダイアフラムに加わる圧力に応じて変化するギャップ幅により前記ダイアフラムに形成された電極と前記第1の基板に形成された電極との間の静電容量の変化によって圧力を検出する静電容量型圧力センサにおいて、前記第1の基板上の電極引き出し部と前記第2の基板のいずれかに突起部を設け、電極引き出し部近傍のギャップ幅をその周辺部分のギャップ幅よりも狭い構造とし、樹脂系封止剤で封止してなることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 13/06 C
, H01L 29/84 Z
