固体撮像素子の遮光膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009320
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224396
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】従来用いられている固体撮像素子の製造プロセスを基本的に変更することなく、固体撮像素子の耐スミア性能を改善できる遮光膜を提供する。【構成】基板上に形成され固体撮像素子に入る不要な光線を遮光する遮光膜(5)であって、高融点金属薄膜(11)と、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、高融点金属薄膜(11)の上に積層された保護膜(12)とを備えることを特徴とする。また、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、高融点金属薄膜(11)の下に積層された接合膜(13)を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され固体撮像素子に入る不要な光線を遮光する遮光膜であって、高融点金属薄膜と、高融点金属の硅化物または窒化物からなり、前記高融点金属薄膜の上に積層された保護膜とを備えることを特徴とする遮光膜。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-147366
特開昭59-232572
特開平2-027764

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