特許
J-GLOBAL ID：200903075913836940
ボレート系非線形光学結晶への光学膜の形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062830
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 例えば高出力、高エネルギーの紫外線レーザー光発生装置の波長変換素子として用いても、長期に渡ってすぐれた特性を保持できるボレート系非線形光学結晶への光学膜の形成方法を提供する。【解決手段】 ボレート系非線形光学結晶への光学膜の形成方法において、ボレート系非線形光学結晶表面の水分を、真空中で除去する前処理工程を経て後に、ボレート系非線形光学結晶を外気にさらすことなくその表面、例えば光入射端面、光出射端面の少なくともいづれかの、光学特性の劣化が問題となる表面に、光学膜を構成する少なくともボレート系非線形光学結晶に直接被着する第1の光学膜をイオンプレーティングによって形成する。
請求項（抜粋）：
ボレート系非線形光学結晶表面の水分を、真空中で除去する前処理工程と、該前処理工程の後に上記ボレート系非線形光学結晶を外気にさらすことなく該ボレート系非線形光学結晶表面に形成する光学膜を構成する少なくとも上記ボレート系非線形光学結晶に直接被着する第1の光学膜をイオンプレーティングによって形成する工程とを採ることを特徴とするボレート系非線形光学結晶への光学膜の形成方法。
IPC (3件)：
G02F 1/37
, C23C 14/32
, G02B 1/10
G02F 1/37
, C23C 14/32 Z
, G02B 1/10 Z
