特許

J-GLOBAL ID：200903075915539772

パターン検出装置

発明者： 小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-187253
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028850
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】被検光学系が発する蛍光の影響を受けることのないパターン検出装置を提供することである。【解決手段】被検光学系12に対して200nm以下の波長の光を供給する光供給手段と、被検光学系12を介した光に基づき、被検光学系12の状態を示すパターンを発生させる光学系18〜22と、光学系により発生させたパターンを観察するパターン観察面上に配置された波長シフト手段24と、波長シフト手段によりシフトされた波長の光に基づくパターンを撮像する撮像手段32とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検光学系に対して200nm以下の波長の光を供給する光供給手段と、 前記被検光学系を介した前記光に基づき、前記被検光学系の状態を示すパターンを発生させる光学系と、 前記光学系により発生させた前記パターンを観察するパターン観察面上に配置された波長シフト手段と、 前記波長シフト手段によりシフトされた波長の光に基づく前記パターンを撮像する撮像手段と を備えることを特徴とするパターン検出装置。

IPC (4件)：

G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01J9/02 ,  G01M11/02

FI (4件)：

G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G01M11/02 B ,  G01B11/24 D

Fターム (30件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064BB05 ,  2F064CC01 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG00 ,  2F064GG11 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG42 ,  2F064GG49 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F065AA51 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065DD12 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065NN06 ,  2G086HH06