特許
J-GLOBAL ID：200903075916519066
面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347181
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201607
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】異常個所を容易且つ確実に検出できる新規な面検査方法を実現する。【構成】被検査面10の検査部に、光強度が1方向へ周期的に変化する1次元格子状のパターン13を照射し、検査部の像を読取装置14により読み取り、読み取ったパターン像情報を、格子の縞方向に従って微分処理を行い、その結果に閾値処理を施すことにより、上記検査部の異常個所を検出する。
請求項（抜粋）：
被検査面上の検査部に、光強度が1方向へ周期的に変化する1次元格子状のパターンを照射し、上記検査部の像を読取装置により読み取り、読み取ったパターン像情報を、格子の縞方向に従って微分処理を行い、その結果に閾値処理を施すことにより、上記検査部の異常個所を検出することを特徴とする面検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/84
, G06F 15/62 400
, H04N 7/18
