加速度記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤谷修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194383
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】小型で保守を必要としない加速度記録装置を提供する。【解決手段】STM(走査型トンネル顕微鏡)を利用した加速度記録装置である。記録基板30上に、固定部20、バネ15、16及びビーム14、マス部10と針12で、XY方向に変位可能加速度センサを作製する。このセンサに加速度が作用すれば、マス部10と針12はその加速度に応じて逆方向に変位する。又、針12直下にはトンネル電流が流れる離間距離で記録媒体を配置する。Y掃引部22で針12をY方向に掃引ししつつ、記録回路部40からパルス電流を印加すれば、針12の直下の記録媒体の特性が変化する。これにより、針12の軌跡、即ち加速度が記録される。記録媒体を原子層又は分子層32とすれば、原子オーダーで記録できる。又、読み出し回路部50がトンネル電流の有無を検出すれば、加速度記録が読み出される。

請求項（抜粋）：

加速度を記録する加速度記録装置であって、X、Y方向に変位可能なバネと、前記バネ中央部に設けられたマス部と、前記マス部にZ方向に伸張して形成された針からなる加速度センサと、原子層又は分子層を表面に吸着させた記録基板と、前記加速度センサをX方向及びY方向に掃引するセンサ掃引部と、前記加速度センサの針と前記記録基板間にパルス電流を印加し、該パルス電流で一部の前記原子層又は分子層の特性を変化させることにより加速度情報を記録する記録回路部と、前記加速度センサの針と前記記録基板間のトンネル電流の変化により前記加速度情報を読む読み出し回路部とを備えたことを特徴とする加速度記録装置。

IPC (6件)：

G01P 15/18 , B81B 7/00 , G01D 9/00 , G01D 15/06 , G01P 15/02 , H01L 29/84

FI (6件)：

B81B 7/00 , G01D 9/00 T , G01D 15/06 Z , G01P 15/02 C , H01L 29/84 Z , G01P 15/00 K

Fターム (12件)：

2F070AA01 , 2F070AA20 , 2F070CC01 , 2F070FF20 , 2F070HH10 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA24 , 4M112CA25 , 4M112DA04 , 4M112DA18 , 4M112EA03

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